所谓精密和超精密磨料加工就是利用细粒度的磨粒和微粉对黑色金属、硬脆材料等进行加工，以得到高加工精度和低表面粗糙度。精密和超精密磨料加工可分为固结磨料和游离磨料两大类。固结磨料加工是将磨料或微粉与黏结剂粘合在一起，形成一定的形状并具有一定强度，再采用烧结、粘接、涂覆等方法形成砂轮、砂条、磨石、砂带等磨具；游离磨料加工中磨料或微粉不是固结在一起，而是呈游离状态。

1、固结磨具精密磨削机理

精密磨削是指加工精度为1～0.1μm、表面粗糙度Ra值达到0.2～0.01μm的磨削方法。表面粗糙度Ra值达到0.01μm以下，表面光泽如镜的磨削方法，称为镜面磨削。

（1）微刃的微切削作用 在精密磨削中，通过较小的修整导程和修整深度来精细地修整砂轮，使磨粒具有较好的微刃性。这种砂轮磨削时，同时参加切削的刃口增多，深度减小，由于微刃的微切削作用形成了表面粗糙度值较小的表面。

（2）微刃的等高切削作用 微刃是由砂轮的精细修整形成的，分布在砂轮表层的同一深度上的微刃数量多、等高性好（即细而多的切削刃具有平坦的表面），使得加工表面的残留高度极小，因而形成了小的表面粗糙度值。

（3）微刃的滑挤、摩擦、抛光作用 砂轮修整后出现的微刃切削开始比较锐利，切削作用强，随着磨削时间的增加，微刃逐渐钝化，同时等高性得到改善。这时切削作用减弱，滑擦、挤压、抛光作用增强。磨削区的高温使金属软化，钝化微刃的滑擦和挤压将工件表面凸峰碾平，降低了表面粗糙度值。

2．游离磨料加工技术

将游离状态下的细磨料或磨料微粉放在工件和工具之间进行研磨和抛光称为精密和超精密游离磨料加工。游离磨料加工技术是不切除或切除极薄的材料层，用以降低工件表面粗糙度值或强化加工表面的加工方法，多用于最终工序加工。近年来出现了许多新的游离磨料加工方法，如磁力研磨、弹性发射加工、磁流体抛光、磨料流加工、化学机械抛光等。